Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42949
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХмыль, А. А.-
dc.contributor.authorЕмельянов, А. В.-
dc.contributor.authorАлиева, Н. В.-
dc.contributor.authorЕмельянов, В. А.-
dc.contributor.authorТрусов, В. Л.-
dc.contributor.authorШикуло, В. Е.-
dc.contributor.authorСенько, С. Ф.-
dc.date.accessioned2021-02-11T13:38:30Z-
dc.date.available2021-02-11T13:38:30Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationКонденсатор для интегральной микросхемы : пат. 19535 Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01G 4/33 / Хмыль А. А., Емельянов А. В., Алиева Н. В., Емельянов В. А., Трусов В. Л., Шикуло В. Е., Сенько С. Ф. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20121543 ; заявл. 30.06.2014 ; опубл. 30.10.2015. – 6 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42949-
dc.description.abstractКонденсатор для интегральной микросхемы, содержащий сформированную на кремниевой подложке с активными элементами диэлектрическую пленку, на которой сформирована нижняя обкладка конденсатора из легированного поликристаллического кремния с расположенным на ней конденсаторным диэлектриком, выполненным в виде последовательно лежащих слоя диоксида кремния, слоя нитрида кремния и слоя оксинитрида кремния толщиной от 1 до 5 нм, а также сформированную на указанном диэлектрике верхнюю обкладку конденсатора, выполненную из легированного поликристаллического кремния, и присоединенные к указанным обкладкам локальные электрические контакты.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherНациональный центр интеллектуальной собственности, РБru_RU
dc.subjectпатентыru_RU
dc.subjectинтегральные микросхемыru_RU
dc.subjectконденсаторыru_RU
dc.titleКонденсатор для интегральной микросхемыru_RU
dc.title.alternativeПат. 19535 Респ. Беларусьru_RU
dc.typeДругоеru_RU
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
19535.pdf521.61 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.