Сенсор для определения концентрации горючих газов

Abstract

Сенсор для определения концентрации горючего газа, содержащий корпус с газопроницаемым колпаком и подложку с диэлектрической мембраной, на которой последовательно сформированы нагреватель, электроды к чувствительному слою для снятия сигнала и чувствительный полупроводниковый слой из оксида металла, отличающийся тем, что подложка и мембрана выполнены из нанопористого оксида алюминия с пористостью от 10 до 50 процентов объема, толщина подложки составляет от 40 до 60 мкм, а мембраны - от 20 до 30 мкм, в области нагревателя в мембране выполнены сквозные отверстия, нагреватель и электроды, расположенные на мембране, взаимно перпендикулярны с зазором от 1 до 25 мкм.