Исследование влияния электрических режимов питания СВЧ магнетрона на распределение СВЧ энергии в плазме СВЧ разряда

Abstract

Представлены результаты исследования влияния подводимой к СВЧ магнетрону мощности на распределение СВЧ энергии в плазме СВЧ разряда. Исследования показали, что величина электрической мощности, подводимой к СВЧ магнетрону, обратно пропорциональна величине СВЧ мощности в центральной области СВЧ разряда. The research results of the influence of power supplied to the microwave magnetron on the distribution of microwave energy in the microwave discharge plasma are presented. The studies have shown that the value of electric power supplied to the microwave magnetron is inversely proportional to the value of the microwave power in the central region of the microwave discharge.