Формирование, структура и оптические свойства текстурированных пленок CaSi на Si(111)

Abstract

В работе исследован рост, структура и оптические свойства однофазных пленок CaSi на кремниевой подложке с ориентацией Si(111). Рентгеноструктурный анализ показал, что фазовый состав и кристаллическая структура пленок представляют собой поликристаллические пленки CaSi с преобладающей ориентацией CaSi(220) при росте методом молекулярно-лучевой эпитаксии и CaSi(010) – при росте методом реактивной эпитаксии. По данным оптической спектроскопии рассчитаны основные оптические функции пленки в диапазоне энергий фотонов 0.05 – 1.2 эВ. Проведено сравнение экспериментальных оптических данных с данными первопринципных расчетов оптических свойств CaSi. Показано хорошее совпадение основных межзонных переходов в спектрах оптических функций.