Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛеонович, Н. В.-
dc.contributor.authorЗанько, А. И.-
dc.contributor.authorЛогунов, К. Т.-
dc.date.accessioned2021-06-24T06:00:08Z-
dc.date.available2021-06-24T06:00:08Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationЛеонович, Н. В. Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности / Леонович Н. В., Занько А. И., Логунов К. Т. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 101–103.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385-
dc.description.abstractРазработана технология химического осаждения алмазоподобного углеродного покрытия в плазме высокой плотности. Описан реактор для плазмохимического осаждения. Получены покрытия алмазоподобного углерода. Представлены результаты исследования технологического процесса осаждения алмазоподобных углеродных покрытий.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectхимическое осаждениеru_RU
dc.subjectуглеродные покрытияru_RU
dc.subjectалмазоподобные углеродные покрытияru_RU
dc.titleПроцесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотностиru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Leonovich_Protsess.pdf706.73 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.