| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Терентьева, Г. А. | - |
| dc.contributor.author | Шубелько, Ю. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-24T06:37:40Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-24T06:37:40Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Лаппо, А. И. Автоматизированный контроль процесса прошивки отверстий в кремневых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева / А. И. Лаппо, Г. А. Терентьева, Ю. А. Шубелько // Информационные технологии и управление : материалы 57-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов по направлению 2, Минск, 19-23 апреля 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2021. – С. 105–106. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44393 | - |
| dc.description.abstract | Автоматизированный контроль процесса формирования переходных отверстий в кремниевых подложках 3D структур по технологии TSV посредством лазерного излучения и инфракрасного нагрева в средневолновом диапазоне при помощи микроконтроллерного устройства позволяет повысить точность проводимых опытов, упростить сбор данных необходимых для последующего анализа и ля установления оптимальных параметров технологического процесса. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | 3D электронные модули | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые подложки | ru_RU |
| dc.subject | лазерный нагрев | ru_RU |
| dc.subject | инфракрасный нагрев | ru_RU |
| dc.title | Автоматизированный контроль процесса прошивки отверстий в кремневых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
