| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Занько, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-24T11:02:04Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-24T11:02:04Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Занько, А. И. Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 128. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416 | - |
| dc.description.abstract | Проводилось плазмохимическое осаждение оксида кремния с использованием плазмы Ar+TEOS/Ar при атмосферном давлении. Стабилизация на воздухе параметров полученных пленок занимает порядка 15 дней, при этом наблюдается повышение показателя преломления с 1,4-1,45 до стехиометрического оксида кремния 1,46-1,47. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое осаждение | ru_RU |
| dc.subject | газовые фазы | ru_RU |
| dc.subject | атмосферное давление | ru_RU |
| dc.title | Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
