| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Пивоварчик, С. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-09T07:24:42Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-09T07:24:42Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Пивоварчик, С. С. Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / С. С. Пивоварчик ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2021. – 12 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45131 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | тонкопленочные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | ионно–плазменные системы | ru_RU |
| dc.title | Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 7-06-0713-02 Электронные системы и технологии
|
