Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45142
| Title: | Метод контроля размеров микроэлектронных структур на основе микроскопии ГУФ диапазона |
| Authors: | Сербин, И. Н. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;микроэлектроника;микроскопия |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сербин, И. Н. Метод контроля размеров микроэлектронных структур на основе микроскопии ГУФ диапазона : автореф. дисс. ... магистра инженерных наук : 1-39 80 03 / И. Н. Сербин ; науч. рук. А. Г. Трапашко. – Минск : БГУИР, 2021. – 9 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45142 |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
