| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Пономарь, В. Н. | - |
| dc.contributor.author | Ухов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Лесникова, В. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-15T06:01:20Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-15T06:01:20Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Анализ микроэлектронных структур с высоким пространственным разрешением / Емельянов В. А. [и др.] // Доклады БГУИР. – 2005. – № 5. – С. 74. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45294 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе для подготовки вертикальных сечений использовались различные механические обработки и финишное утонение ионным пучком. Использование такой комбинации методов является наиболее универсальным, так как способствует минимизации эффектов, связанных с различными свойствами материалов, входящих в многослойные системы, какими являются микросхемы. Изучены и установлены оптимальные условия проведения каждой операции, подробное описание последовательности действий при их выполнении отражены в соответствующих методиках. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | электронная микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | просвечивающая электронная микроскопия | ru_RU |
| dc.title | Анализ микроэлектронных структур с высоким пространственным разрешением | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №5
|
