| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лыньков, Л. М. | - |
| dc.contributor.author | Жданович, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Петров, Н. П. | - |
| dc.contributor.author | Прудник, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Богуш, В. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-24T11:32:59Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-24T11:32:59Z | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции / Л. М. Лыньков [и др.] // Материалы, технологии, инструмент. – 1996. – № 2. – С. 88. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45473 | - |
| dc.description.abstract | Применение новых материалов в качестве
масок для обратной литографии требует изучения механических и других свойств в условиях
термообработки, приводящей к их полному разрушению. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Институт механики металлополимерных систем им. В. А. Белого НАН Беларуси | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | технологии литографии | ru_RU |
| dc.subject | термодеструкция | ru_RU |
| dc.title | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
