| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шекелевский, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-10-18T07:06:59Z | - |
| dc.date.available | 2021-10-18T07:06:59Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Шекелевский, В. В. Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / В. В. Шекелевский ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2021. – 7 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45631 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | плазмообразование | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
