Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКабак, Т. В.-
dc.date.accessioned2021-11-24T05:59:23Z-
dc.date.available2021-11-24T05:59:23Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationКабак, Т. В. Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) / Кабак Т. В. // Студенческий форум. – 2021. – № 37(173). – С. 81–82.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985-
dc.description.abstractСовременные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность решения не только задач избирательного препарирования ИМС, но и дают доступ к ранее невозможным операциям ремонта и модификации сложных объектов посредством локальной реконструкции.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherООО "Международный центр науки и образования"ru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectионно-лучевые технологииru_RU
dc.subjectинтегральные микросхемыru_RU
dc.subjectионные микроскопыru_RU
dc.titleИонно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС)ru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Ionno_luchevyye.pdf523.73 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.