| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кабак, Т. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-11-24T05:59:23Z | - |
| dc.date.available | 2021-11-24T05:59:23Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Кабак, Т. В. Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) / Кабак Т. В. // Студенческий форум. – 2021. – № 37(173). – С. 81–82. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985 | - |
| dc.description.abstract | Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность решения не только задач избирательного препарирования ИМС, но и дают доступ к ранее невозможным операциям ремонта и модификации сложных объектов посредством локальной реконструкции. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО "Международный центр науки и образования" | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевые технологии | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | ионные микроскопы | ru_RU |
| dc.title | Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
