| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кабак, Т. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-11-24T06:22:37Z | - |
| dc.date.available | 2021-11-24T06:22:37Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Кабак, Т. В. Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В. // Концепт науки XXI: стратегії, методи та наукові інструменти : матеріали II Міжнародної студентської наукової конференції, Херсон, 12 листопада 2021 р. – Херсон : Молодіжна навукова ліга, 2021. – Т. 1. – С. 90–91. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45987 | - |
| dc.description.abstract | Проводится анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Молодіжна навукова ліга | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | ионные пучки | ru_RU |
| dc.subject | ионные микроскопы | ru_RU |
| dc.title | Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
