| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кабак, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-01-31T06:32:42Z | - |
| dc.date.available | 2022-01-31T06:32:42Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Кабак, Т. В. Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Стан, проблеми та перспективи розвитку науки, освіти та технологій : збірник тез доповідей Міжнародної науково-практичної конференції, Полтава, 12 листопада 2021 р. – Полтава : ЦФЕНД, 2021. – С. 48. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608 | - |
| dc.description.abstract | Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность не только избирательно препарировать ИМС, но также позволяют осуществлять модификацию или ремонт сложных объектов посредством сверхлокальной реконструкции. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Центр фінансово-економічних наукових досліджень | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевые технологии | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | микросхемы | ru_RU |
| dc.title | Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
