Влияние температуры электролита на формирование морфологии пористой структуры анодного оксида алюминия

Abstract

Представлены результаты исследований по анодированию тонких пленок алюминия толщиной 100 нм на SiO2–Si пластинах при 30 Вв 0.3 М водном растворе щавелевой кислоты. Изучено влияние температуры электролита на морфологию пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). Диаметр пор и межпористое расстояние определяли с помощью компьютерного анализа СЭМ изображений морфологии анодных пленок в программе ImageJ. Полученные данные показали, что диаметр пор не зависит от температуры электролита и времени процесса, а определяется только напряжением анодирования. В диапазоне температур электролита 5–40°С диаметр пор пленок ПАОА был равен 20 ± 0.5 нм, а межпористое расстояние 77.7 нм. Результаты исследований свидетельствуют, что изменение температуры электролита, в отличие от напряжения анодирования, оказывает влияние только на скорость роста анодной пленки, а не на ее пористую морфологию.