Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46968
| Title: | Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением |
| Authors: | Зырянова, А. С. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкие пленки;диоксид гафния;ионно-лучевое распыление |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Зырянова, А. С. Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / А. С. Зырянова ; науч. рук. А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2022. – 11 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46968 |
| Appears in Collections: | 7-06-0713-02 Электронные системы и технологии
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
