| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ермоленко, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-07T13:19:09Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T06:26:29Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-07T13:19:09Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-13T06:26:29Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления / М. В. Ермоленко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 5 (91). - С. 119 - 121. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4904 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы оптические характеристики тонких пленок нитрида алюминия, нанесенных
методами реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления.
Установлены зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения пленок от
процентного содержания азота в смеси рабочих газов. Выявлено, что метод реактивного
магнетронного распыления позволяет наносить слои нитрида алюминия с более низким
коэффициентом поглощения, чем метод реактивного ионно-лучевого распыления и с
коэффициентом преломления близким к значению объемного образца. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | нитрид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | коэффициент поглощения | ru_RU |
| dc.subject | показатель преломления | ru_RU |
| dc.title | Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления | ru_RU |
| dc.title.alternative | Optical characteristics of AlN thin films deposited by DC magnetron and ion-beam sputtering study | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №5 (91)
|
