| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гацкевич, Е. И. | - |
| dc.contributor.author | Ивлев, Г. Д. | - |
| dc.contributor.author | Малевич, В. Л. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | - |
| dc.date.accessioned | 2022-12-02T07:50:31Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-02T07:50:31Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Гацкевич, Е. И. Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в эпитаксиальных германий-кремниевых гетероструктурах=Laser-induced thermophysical processes in epitaxial germanium-silicon Heterostructures / Гацкевич Е. И., Ивлев Г. Д., Малевич В. Л. // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научнно-технической конференции, Минск, 17-19 ноября 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2021. – С. 393-395. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49264 | - |
| dc.description.abstract | Изучено перераспределении элементов по глубине в эпитаксиальных GeSi слоях при облучении наносекундными импульсами рубинового лазера. Проанализировано влияние сегрегации на формирование ячеистых структур в неравновесных условиях импульсного воздействия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БНТУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | германий | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | гетеростуктуры | ru_RU |
| dc.subject | лазерное облучение | ru_RU |
| dc.title | Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в эпитаксиальных германий-кремниевых гетероструктурах | ru_RU |
| dc.title.alternative | Laser-induced thermophysical processes in epitaxial germanium-silicon Heterostructures | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | The redistribution of elements in epitaxial GeSi layers under irradiation with nanosecond pulses of a
ruby laser has been studied. The effect of segregation on the formation of cellular structures under nonequilibrium conditions of impulse influence is discussed. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
