| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Козлов, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Цаладонов, А. Д. | - |
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2022-12-20T06:34:32Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-20T06:34:32Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | МЭМС на основе анодного оксида алюминия для применения в высокочастотных схемах / Козлов В. С. [и др.] // Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2022 : материалы научно-технической конференции, Минск, 29–30 ноября 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : БГУИР, 2022. – С. 290–291. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49510 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе рассмотрены области применения переменных МЭМС-конденсаторов. Рассмотрены
способы регулирования величины емкости МЭМС-конденсаторов. Описан принцип работы переменного
конденсатора, в котором изменение величины зазора между обкладками осуществляется с помощью
многослойного термоактюатора. Предложена конструкция переменного МЭМС-конденсатора на основе анодного оксида алюминия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | МЭМС-конденсаторы | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | высокочастотные схемы | ru_RU |
| dc.title | МЭМС на основе анодного оксида алюминия для применения в высокочастотных схемах | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | In this paper, the areas of application of variable MEMS capacitors are considered. Methods for regulating the
capacitance value of MEMS-capacitors are considered. The principle of operation of a variable capacitor is described, in which the change in the gap between the plates is carried out by a multilayer thermal actuator. A design of a variable MEMS-capacitor based on anodic aluminum oxide is proposed. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2022 : научно-техническая конференция
|
