Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49542
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЧубенко, Е. Б.-
dc.contributor.authorГревцов, Н. Л.-
dc.contributor.authorБондаренко, В. П.-
dc.contributor.authorГаврилин, И. М.-
dc.contributor.authorПавликов, А. В.-
dc.contributor.authorДронов, А. А.-
dc.contributor.authorВолкова, Л. С.-
dc.contributor.authorГаврилов, С. А.-
dc.coverage.spatialМинскru_RU
dc.date.accessioned2022-12-20T11:33:00Z-
dc.date.available2022-12-20T11:33:00Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationСпектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния / Е. Б. Чубенко [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2022. – Т. 89, No 5. – C. 614-620. – DOI : 10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49542-
dc.description.abstractИсследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИнститут физики им. Б.И. Степанова НАН Беларусиru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectпористый кремнийru_RU
dc.subjectспектроскопия комбинационного рассеяния светаru_RU
dc.subjectэлектрохимическое осаждениеru_RU
dc.titleСпектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремнияru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
+Chubenko_Spektry.pdf682.3 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.