Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49736
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАль-Камали, М. Ф. С.Х.-
dc.contributor.authorБойко, А. А.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorДоан, Х. Т.-
dc.contributor.authorМихалко, А. М.-
dc.coverage.spatialГродноru_RU
dc.date.accessioned2023-01-17T14:58:27Z-
dc.date.available2023-01-17T14:58:27Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationФормирование композиционных покрытий ионно-лучевым распылением мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезёма, содержащих соединения меди / М. Ф. С. Х. Аль-Камали [и др.] // Вестник Гродненского государственного университета имени Янки Купалы. – 2022. – Т. 12, № 2. – С. 14–23.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49736-
dc.description.abstractВо введении указан объект исследования – тонкие пленки, полученные ионно-лучевым распылением мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезема, содержащих соединения меди. Целью исследования является изучение поведения ионов меди при формировании тонких пленок методом ионнолучевого распыления мишени состава SiO2:CuO в смеси газов Ar/O2. В основной части представлены результаты исследования структурных и оптических свойств тонких пленок толщиной ~100 нм, сформированных ионно-лучевым распылением мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезема, содержащих соединения меди. Морфология поверхности пленки в целом показывает интегральную однородность и фактически не зависит от состава газовой среды, при этом наблюдается некоторая «зернистость» поверхности покрытия, что характерно для распыления пористых мишеней, состоящих из агломератов или доменных структур. Полученные частотные зависимости диэлектрической проницаемости пленок SiO2:CuO показали снижение диэлектрической проницаемости в интервале 10 кГц – 1 МГц. Обнаружено, что при толщине пленки SiO2:CuO менее 100 нм тонкопленочный конденсатор не всегда формируется. Основываясь на анализе оптических параметров полученных пленок в зависимости от среды распыления, высказано предположение, что в инертной среде в пленке формируется большая концентрация глобулярного CuO сфероидальной формы, а также возможно восстановление оксида меди до Cu+ и, вероятно, до Cuº, о чем свидетельствует изменение ε и tgδ, а также увеличение оптической ширины запрещенной зоны тонких пленок SiO2:CuO от 3,909 до 3,972 эВ при увеличении содержания кислорода в смеси газов Ar/O2. Полученные пленки могут быть использованы в качестве активных сред в солнечных элементах, сенсорах и других устройствах.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГрГУ им. Янки Купалыru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectзоль-гель методru_RU
dc.subjectтонкая пленкаru_RU
dc.subjectионно-лучевое распылениеru_RU
dc.subjectоптические параметрыru_RU
dc.titleФормирование композиционных покрытий ионно-лучевым распылением мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезёма, содержащих соединения медиru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Al_Kamali_Formirovanie.pdf1.7 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.