DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Лыньков, Л. М. | - |
dc.contributor.author | Болдышева, И. П. | - |
dc.contributor.author | Прудник, А. М. | - |
dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
dc.date.accessioned | 2023-02-07T11:25:15Z | - |
dc.date.available | 2023-02-07T11:25:15Z | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier.citation | Способ изготовления межкомпонентной изоляции интегральных микросхем : пат. 6943 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/76 / Лыньков Л. М., Болдышева И. П., Прудник А. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19990581 ; заявл. 10.06.1999 ; опубл. 30.03.2005. – 4 с. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49887 | - |
dc.description.abstract | Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии полупроводниковых интегральных микросхем (ИМС). | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Национальный центр интеллектуальной собственности | ru_RU |
dc.subject | патенты | ru_RU |
dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
dc.subject | полупроводниковые микросхемы | ru_RU |
dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
dc.title | Способ изготовления межкомпонентной изоляции интегральных микросхем | ru_RU |
dc.title.alternative | Пат. 6943 Респ. Беларусь | ru_RU |
dc.type | Other | ru_RU |
Appears in Collections: | Изобретения
|