https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49890| Title: | Способ обратной литографии |
| Other Titles: | Пат. 7220 Респ. Беларусь |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Прудник, А. М. Болдышева, И. П. Белятко, Д. П. |
| Keywords: | патенты;полупроводниковые микросхемы;микросхемы |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Способ обратной литографии : пат. 7220 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/033 / Лыньков Л. М., Прудник А. М., Болдышева И. П., Белятко Д. П. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19990582 ; заявл. 10.06.1999 ; опубл. 30.09.2005. – 2 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве полупроводниковых микросхем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49890 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_7220.pdf | 69.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.