| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Пинаева, М. М. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-02-08T06:16:20Z | - |
| dc.date.available | 2023-02-08T06:16:20Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.citation | Способ формирования диэлектрических пленок : пат. 6426 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/316 / Сокол В. А., Пинаева М. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19980565 ; заявл. 12.06.1998 ; опубл. 30.09.2004. – 5 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49901 | - |
| dc.description.abstract | Настоящее изобретение относится к области электронной технологии, в частности к процессу изготовления диэлектрических анодных оксидных пленок (АОП), содержащих редкоземельные металлы (РЗМ), и может быть использовано для изготовления всех видов изделий микроэлектроники, основанных на применении, в частности, в гибридных и полупроводниковых схемах, МДМ-структурах, активных, линейных и нелинейных элементах, СВЧ-устройствах и датчиках излучения в широком диапазоне длин волн. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Национальный центр интеллектуальной собственности | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | оксидные пленки | ru_RU |
| dc.subject | диэлектрические пленки | ru_RU |
| dc.title | Способ формирования диэлектрических пленок | ru_RU |
| dc.title.alternative | Пат. 6426 Респ. Беларусь | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
