| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Суходольский, А. М. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-03-07T11:54:31Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-07T11:54:31Z | - |
| dc.date.issued | 1981 | - |
| dc.identifier.citation | Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом : а. с. 871260 СССР : МПК H 01 L 21/70 / Суходольский А. М. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2723226/18-21 ; заявл. 05.02.1979 ; опубл. 07.10.1981. – 3 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50368 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к микроэлектронике, в частности, к технологии создания активных и пассивных тонкопленочных элементов, построенных на основе тонких диэлектрических пленок. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | диэлектрические пленки | ru_RU |
| dc.title | Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 871260 СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
