| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Межинский, Ю. С. | - |
| dc.contributor.author | Mezhinsky Yu. S. | en |
| dc.date.accessioned | 2015-11-13T08:50:21Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T07:52:15Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-13T08:50:21Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-20T07:52:15Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.citation | Межинский, Ю. С. Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Ю. С. Межинский; науч. рук. С. Е. Карпович. - Минск : БГУИР, 2000. - 22 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5038 | - |
| dc.description.abstract | Целью работы являлось повышение точностных, динамических и эксплуатационных характеристик прецизионных координатных систем на базе ЛШД путем математического моделирования, программных средств проектирования, корректирующих алгоритмов и их реализации в системе управления многокоординатного шагового привода для гибкого технологического оборудования в микроэлектронике. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | прецизионное технологическое оборудование | ru_RU |
| dc.subject | гибкий автоматизированный комплекс | ru_RU |
| dc.subject | линейный шаговый двигатель | ru_RU |
| dc.subject | точность позиционирования | ru_RU |
| dc.subject | калибровка | ru_RU |
| dc.subject | математическое моделирование | ru_RU |
| dc.subject | microelectronics | ru_RU |
| dc.subject | precision technological equipment | ru_RU |
| dc.subject | flexible automated complex | ru_RU |
| dc.subject | linear stepping motor | ru_RU |
| dc.subject | positioning accuracy | ru_RU |
| dc.subject | calibration | ru_RU |
| dc.subject | mathematical modeling | ru_RU |
| dc.title | Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения | ru_RU |
| dc.title.alternative | Development and Research of Precision Coordinate Systems with Linear Stepping Motors for Electronic Machinery | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| local.description.annotation | Purpose of the work is to increase accuracy, dynamic and operating performances of precision coordinate systems with linear stepping motors by means of mathematical modeling, software for computer-aided design, calibration algorithms and their implementation in control systems of multi-coordinate stepping drives for flexible technological equipment in microelectronics. | - |
| Appears in Collections: | 05.27.07 Оборудование производства электронной техники
|
