| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Левчук, И. Е. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Ширипов, В. Я. | - |
| dc.contributor.author | Егоров, В. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-03-16T12:09:38Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-16T12:09:38Z | - |
| dc.date.issued | 1983 | - |
| dc.identifier.citation | Просвечивающий электронный микроскоп : а. с. 1035679 А СССР : МПК G 06 F 7/52 / Левчук И. Е., Достанко А. П., Ширипов В. Я., Егоров В. Н. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3361602/18-21; заявл. 26.11.1981 ; опубл. 15.08.1983 – 4 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50559 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к просвечивающей электронной микроскопии и может найти применение при экспериментальных исследованиях кинетики изменения структуры и состава тонких пленок в процессе их формирования методом ионного распыления мишени при одновременной бомбардировке поверхности подложек. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | кинетика | ru_RU |
| dc.subject | ионное воздействие | ru_RU |
| dc.title | Просвечивающий электронный микроскоп | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 1035679 А СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
