| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Квасов, Н. Т. | - |
| dc.contributor.author | Полонин, А. К. | - |
| dc.contributor.author | Корешков, Г. А. | - |
| dc.contributor.author | Прохоренко, Н. Л. | - |
| dc.contributor.author | Карпов, В. Е. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-03-17T08:30:54Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-17T08:30:54Z | - |
| dc.date.issued | 1984 | - |
| dc.identifier.citation | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине : а. с. 1087779 А СССР : МПК G 01 H 13/00 / Лабунов В. А., Квасов Н. Т., Полонин А. К., Корешков Г. А., Прохоренко Н. Л., Карпов В. Е. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3558469/18-28 ; заявл. 24.02.1983 ; опубл. 23.04.1984. – 5 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50577 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к измерительной технике и неразрушающему контролю физико-механических характеристик твердого тела и может быть использовано для определения механических напряжений, концентрации дефектов и глубины залегания примеси, внедряемой в полупроводниковую пластину. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | измерительная техника | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые пластины | ru_RU |
| dc.title | Способ контроля механических напряжений в полупроводниковой пластине | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 1087779 А СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
