Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50774
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолбун, В. С.-
dc.contributor.authorЗахаров, В. И.-
dc.coverage.spatialМоскваru_RU
dc.date.accessioned2023-03-29T08:14:38Z-
dc.date.available2023-03-29T08:14:38Z-
dc.date.issued1985-
dc.identifier.citationСпособ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки : а. с. 1177663 А СССР : МПК G 01 B 15/02 / Колбун В. С., Захаров В. И. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3708001/24-28 ; заявл. 06.03.1984 ; опубл. 07.09.1985. – 2 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50774-
dc.description.abstractИзобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины и скорости роста пленки в процессе ее нанесения на подложку.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГосударственный комитет СССР по делам изобретений и открытийru_RU
dc.subjectпатентыru_RU
dc.subjectконтрольно-измерительная техникаru_RU
dc.subjectизмерительная техникаru_RU
dc.titleСпособ активного контроля толщины и скорости нанесения пленкиru_RU
dc.title.alternativeА. с. 1177663 А СССРru_RU
dc.typeOtherru_RU
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pat_1177663.pdf91.68 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.