| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Колбун, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Захаров, В. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-03-29T08:14:38Z | - |
| dc.date.available | 2023-03-29T08:14:38Z | - |
| dc.date.issued | 1985 | - |
| dc.identifier.citation | Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки : а. с. 1177663 А СССР : МПК G 01 B 15/02 / Колбун В. С., Захаров В. И. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3708001/24-28 ; заявл. 06.03.1984 ; опубл. 07.09.1985. – 2 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50774 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины и скорости роста пленки в процессе ее нанесения на подложку. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | контрольно-измерительная техника | ru_RU |
| dc.subject | измерительная техника | ru_RU |
| dc.title | Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 1177663 А СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
