| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лыньков, Л. М. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Паркун, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Ворозов, Н. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Москва | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-04-03T08:52:49Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-03T08:52:49Z | - |
| dc.date.issued | 1978 | - |
| dc.identifier.citation | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 624177 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Л. М. Лыньков, В. В. Соловьев, В. М. Паркун, Н. Н. Ворозов ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2472336/18-21; заявл. 06.04.1977 ; опубл. 15.09.1978 – 2 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50824 | - |
| dc.description.abstract | Изобретение относится к области измерения электрических переменных величин и может быть использовано, например, в микроэлектронике для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе изготовления интегральных микросхем. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий | ru_RU |
| dc.subject | патенты | ru_RU |
| dc.subject | проводящие пленки | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | измерительная техника | ru_RU |
| dc.title | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок | ru_RU |
| dc.title.alternative | А. с. 624177 СССР | ru_RU |
| dc.type | Other | ru_RU |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
