DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Васюков, А. В. | - |
dc.date.accessioned | 2015-11-30T15:06:12Z | |
dc.date.accessioned | 2017-07-20T07:51:39Z | - |
dc.date.available | 2015-11-30T15:06:12Z | |
dc.date.available | 2017-07-20T07:51:39Z | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.citation | Васюков, А. В. Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / А. В. Васюков; науч. рук. А П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2006. - 22 с. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5112 | - |
dc.description.abstract | Целью работы является разработка высокоэффективного технохимического оборудования и технологического процесса получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллическош кремния гидрогенизацией тетрафторида кремния в эвтектическом расплаве солей. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
dc.subject | термолиз гексафторсиликата натрия | ru_RU |
dc.subject | гидрирование кальция | ru_RU |
dc.subject | гидрогенизация тетрафторида кремния | ru_RU |
dc.subject | двухкамерный реактор барботажного типа | ru_RU |
dc.subject | эвтектический расплав солей | ru_RU |
dc.subject | thermolysis of sodium hexafluosilicate | ru_RU |
dc.subject | calcium hydrogenation | ru_RU |
dc.subject | silicon tetrafluoride hydrogenation | ru_RU |
dc.subject | barbotage type bilocular reactor | ru_RU |
dc.subject | eutectic melt of salts | ru_RU |
dc.title | Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния | ru_RU |
dc.title.alternative | Equipment and a technological process of monosilane production from apatite processing waste for the poly crystalline silicon manufacture | ru_RU |
dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
local.description.annotation | The aim of the work is the development of a highly efficient technological process of monosilane synthesis from apatite processing waste for a polyciystalline silicon manufacture by the silicon tetrafluoride hydrogenation in the ionic melt of salts. | - |
Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|