| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Прокопьев, С. Л. | - |
| dc.contributor.author | Гайдук, П. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-04-29T08:03:45Z | - |
| dc.date.available | 2023-04-29T08:03:45Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Прокопьев, С. Л. Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO 2 (Ag) после импульсного лазерного облучения=Methane Sensitivity of Pulsed Laser Treated SnO 2 (Ag) Nanocomposite Layers / С. Л. Прокопьев, П. И. Гайдук // Доклады БГУИР. – 2023. – Т. 21, № 2. – С. 5-13. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51170 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы газочувствительные свойства слоев SnO 2 (Ag), полученных последовательным магнетронным распылением мишени Sn + Ag, окислением слоев Sn 0,65 Ag 0,35 при температуре 650 °С в течение
30 мин и модифицированных импульсами лазерного излучения с плотностью энергии W = 1,5–3,2 Дж/см 2 .
Методами просвечивающей электронной микроскопии и просвечивающей электронной дифракции установлено, что слои Sn 0,65 Ag 0,35 и SnO 2 (Ag) являются нанокомпозитными со средним размером зерен 100–150 нм.
В зависимости от режимов их получения слои содержат зерна с фазовым составом: тетрагональная
фаза β-Sn с орторомбической фазой Ag 3 Sn (Sn 0,65 Ag 0,35 , магнетронное распыление) и тетрагональная
фаза SnO 2 (касситерит) с гранецентрированной кубической структурой Ag (SnO 2 (Ag), термическое окисление). Чувствительность S слоев SnO 2 (Ag) к метану определялась при T = 200–360 °C в атмосфере воздуха
с содержанием метана в диапазоне C CH4 = 2000–20 000 ppm. Показано, что импульсная лазерная обработка
приводит к увеличению чувствительности S слоев SnO 2 (Ag) к метану до 12 % по сравнению с исходными
слоями SnO 2 (Ag). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | нанокомпозитные слои SnO 2 (Ag) | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распыления | ru_RU |
| dc.subject | импульсная лазерная обработка | ru_RU |
| dc.subject | термическое окисление | ru_RU |
| dc.title | Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO 2 (Ag) после импульсного лазерного облучения | ru_RU |
| dc.title.alternative | Methane Sensitivity of Pulsed Laser Treated SnO 2 (Ag) Nanocomposite Layers | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.DOI | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-2-5-13 | - |
| local.description.annotation | This paper reports on the gas sensitivity of SnO 2 (Ag) layers, consequently formed by magnetron sputte ring
of Sn + Ag target, oxidation of Sn 0.65 Ag 0.35 layers at the temperature of 650 °С within 30 min and modified by laser
radiation pulses at energy density of W = 1.5–3.2 J/cm 2 . Using transmission electron microscopy and transmission
electron diffraction it was found, that Sn 0.65 Ag 0.35 and SnO 2 (Ag) layers are nanocomposite with average grain size of 100–150 nm. Sn 0.65 Ag 0.35 and SnO 2 (Ag) layers contain grains of the following phase composition: a tetragonal β-Sn with an orthorhombic Ag 3 Sn (Sn 0.65 Ag 0.35 , magnetron sputtering) and a tetragonal SnO 2 (cassiterite) with
a face-centered cubic Ag structure (SnO 2 (Ag), thermal oxidation). The sensitivity of SnO 2 (Ag) layers with respect
to 2000–20 000 ppm methane in the air was obtained from sensitivity S measurements at T = 200–360 ○ C. It is
shown that pulsed laser annealing of SnO 2 (Ag) layers results in up to 12 % increase of sensitivity of SnO 2 (Ag) layers
to methane in comparison with the initial SnO 2 (Ag) layers. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Том 21, № 2
|
