| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гришанков, И. В. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-05-18T07:04:17Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-18T07:04:17Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Гришанков, И. В. Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типа = Modern processes of materials processing in combined type plasma torches / Гришанков И. В. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 529–530. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51444 | - |
| dc.description.abstract | Данный анализ позволяет определить место и роль плазмотронов комбинированного типа в технологии плазменной обработки материалов изделий микроэлектроники. Приведены основные процессы обработки, которые осуществимы с применением комбинированного разряда. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазмотроны | ru_RU |
| dc.subject | сверхвысокочастотные разряды | ru_RU |
| dc.subject | плазменное травление | ru_RU |
| dc.title | Современные процессы обработки материалов в плазмотронах комбинированного типа | ru_RU |
| dc.title.alternative | Modern processes of materials processing in combined type plasma torches | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | This analysis makes it possible to determine the place and role of combined-type plasma torches in the technology of plasma processing of materials of microelectronics products. The main processing operations that are feasible with the use of a combined discharge are given. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
