| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Жаворонок, И. А. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-05-18T11:18:28Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-18T11:18:28Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Жаворонок, И. А. Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки = Investigation of charge states in the surface layer of a silicon wafer and oxide film after plasma-chemical treatment / Жаворонок И. А., Тихон О. И. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 429–431. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51455 | - |
| dc.description.abstract | Представлены исследования влияния давления в вакуумной камере СВЧ плазмотрона на зарядовые состояния поверхности кремниевой пластины с оксидной пленкой. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru_RU |
| dc.subject | плазмотроны | ru_RU |
| dc.subject | зарядовые состония | ru_RU |
| dc.title | Исследование зарядовых состояний в поверхностном слое кремниевой пластины и оксидной пленки после плазмохимической обработки | ru_RU |
| dc.title.alternative | Investigation of charge states in the surface layer of a silicon wafer and oxide film after plasma-chemical treatment | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | Investigations of the effect of pressure in the vacuum chamber of a microwave plasmatron on the charge states of the surface of a silicon wafer with an oxide film are presented. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
