| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Потылкин, А. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-05-19T12:05:48Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-19T12:05:48Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Потылкин, А. Н. Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита = Optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings produced by reactive ion-beam sputtering of a graphite / Потылкин А. Н. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 531–533. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51487 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние технологических режимов на оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фторуглеродное покрытие | ru_RU |
| dc.subject | реактивное ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | графит | ru_RU |
| dc.title | Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита | ru_RU |
| dc.title.alternative | Optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings produced by reactive ion-beam sputtering of a graphite | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | Тhe effect of technological regimes on the optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings obtained by reactive ion-beam sputtering of a graphite target has been studied. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
