| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Хамаде, Б. З. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-06-22T12:16:50Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-22T12:16:50Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Хамаде, Б. З. Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий / Б. З. Хамаде, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 185–187. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209 | - |
| dc.description.abstract | В сообщении приводятся результаты аналитических исследований применения плазмы генерируемой
при атмосферном давлении и ее видах разрядов для использования в микроэлектронике и
нанотехнологиях. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | барьерные разряды | ru_RU |
| dc.subject | атмосферная плазма | ru_RU |
| dc.subject | нанесение покрытий | ru_RU |
| dc.title | Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
