| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кайдов, О. Л. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-12-11T12:37:56Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T07:51:43Z | - |
| dc.date.available | 2015-12-11T12:37:56Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T07:51:43Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Кайдов, О. Л. Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слояавтореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / О. Л. Кайдов; науч. рук. А. П Достанко. - Мн.: БГУИР, 2005. - 22 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5258 | - |
| dc.description.abstract | Целью работы является разработка высокоэффективной технологии получения поликристаллического кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | термическое разложение моносилана | ru_RU |
| dc.subject | кипящий слой | ru_RU |
| dc.subject | закономерности роста гранул кремния | ru_RU |
| dc.subject | степень преобразования моносилана в поликристаллический кремний | ru_RU |
| dc.subject | monosilane thermal decomposition | ru_RU |
| dc.subject | fluidized bed | ru_RU |
| dc.subject | rules of silicon granules grows | ru_RU |
| dc.subject | transformation degree of monosilane to polycrystalline silicon | ru_RU |
| dc.title | Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя | ru_RU |
| dc.title.alternative | Technology of production granular silicon from monosilane in fluidized bed reactor | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| local.description.annotation | The aim of the work is development of high-efficient technology of producing polycrystalline silicon from monosilane by thermal decomposition of monosilane in fluidized bed reactor. | - |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
