| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Снопков, П. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-17T12:08:02Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-17T12:08:02Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Снопков, П. А. Фотолитография в глубоком ультрафиолете / П. А. Снопков // Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минский радиотехнический колледж ; редкол.: В. В. Шаталова [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 325–327. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53229 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен новейший метод фотолитографии с применением излучения в глубоком ультрафиолетовом спектре, технология и средства его обеспечения. Рассмотрены преимущества и недостатки в сравнении с другими методами. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | электронные технологии | en_US |
| dc.subject | фотолитография | en_US |
| dc.subject | ульрафиолетовый спектр | en_US |
| dc.title | Фотолитография в глубоком ультрафиолете | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции (2023)
|
