| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Нгуен Ван Ту Ань | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-18T08:13:00Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-18T08:13:00Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Нгуен Ван Ту Ань. Исследование влияния газовой среды при реактивном магнетронном распылении на распределение электрофизических свойств и толщины пленок оксидов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / Нгуен Ван Ту Ань ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53257 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | технические науки | en_US |
| dc.subject | пленки оксидов | en_US |
| dc.subject | микроэлектроника | en_US |
| dc.title | Исследование влияния газовой среды при реактивном магнетронном распылении на распределение электрофизических свойств и толщины пленок оксидов | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика
|
