| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Демидович, С. А. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-10-24T05:44:56Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-24T05:44:56Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Демидович, С. А. Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / С. А. Демидович ; науч. рук. Н. В. Вышинский. – Минск : БГУИР, 2023. – 9 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53344 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | en_US |
| dc.subject | компьютерное моделирование | en_US |
| dc.title | Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика
|
