Влияние ионного ассистирования на структуру и свойства поверхности нанометровых пленок сплава Al‒Fe

Abstract

В настоящей работе представлены результаты сравнительных исследований морфологии, топографии и смачивающих свойств нанометровых пленок слаболегированного сплава Al‒Fe в зависимости от режима осаждения на стеклянные подложки с использованием резонансного ионного источника вакуумной электродуговой плазмы. Установлены количественные соотношения, связывающие микрогеометрию поверхности пленок сплава Al‒Fe с условиями осаждения. Обнаруженные закономерности эволюции субмикронной конусообразной морфологии пленок при ионно-ассистированном осаждении позволили определить, что смачивание пленок дистиллированной водой имеет гетерогенный характер и описывается моделью Касси-Бакстера. Полученные результаты показывают, как использование ионно-плазменных технологий при формировании тонкопленочных структур позволяет в широких пределах управлять их физико-химическими и эксплуатационными свойствами.