Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54040
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorДоан, Х. Т.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorДжанг, Дж.-
dc.contributor.authorКананович, Н. А.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorМельников, С. Н.-
dc.coverage.spatialГомельen_US
dc.date.accessioned2024-01-11T06:06:33Z-
dc.date.available2024-01-11T06:06:33Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationВлияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия = Influence of aluminum doping degree on the properties of titanium-aluminum oxide films / Х. Т. Доан [и др.] // Проблемы физики, математики и техники. Серия : Техника. – 2023. – № 2 (55). – С. 74–82.en_US
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54040-
dc.description.abstractПроведены исследования характеристик пленок оксида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al составных мишеней. Получены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности тока утечки и напряженности поля пробоя от степени легирования пленок алюминием C Al и концентрации кислорода в Ar / O 2 смеси газов в процессе нанесения Г O2 . Установлено, что увеличение C Al приводит к снижению диэлектрических потерь и тока утечки, увеличению ширины запрещенной зоны и напряженности поля пробоя пленок. Однако при этом диэлектрическая проницаемость пленок снижается до значений менее 10.en_US
dc.language.isoruen_US
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф. Скориныen_US
dc.subjectпубликации ученыхen_US
dc.subjectреактивное распылениеen_US
dc.subjectмагнетронное распылениеen_US
dc.subjectдиэлектрическая проницаемостьen_US
dc.titleВлияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминияen_US
dc.title.alternativeInfluence of aluminum doping degree on the properties of titanium-aluminum oxide filmsen_US
dc.typeArticleen_US
dc.identifier.DOIDOI: 10.54341/20778708_2023_2_55_74-
local.description.annotationThe characteristics of titanium-aluminum oxide films deposited by reactive magnetron sputtering of Ti-Al compound targets have been studied. The dependences of the permittivity, dielectric loss tangent, band gap, leakage current density, and breakdown field strength on the degree of film doping with aluminum C Al and the oxygen concentration in the Ar / O 2 gas mixture during the deposition of Г O2 are obtained. It has been established that an increase in C Al leads to a decrease in dielectric losses and leakage current, an increase in the band gap and the strength of the breakdown field of the films. However, in this case, the dielectric constant of the films decreases to values less than 10.en_US
Располагается в коллекциях:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Doan_Vliyanie_Stepeni.pdf1.04 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.