| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Коченов, Е. Г. | - |
| dc.contributor.author | Шебеко, В. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-07-30T09:24:57Z | - |
| dc.date.available | 2024-07-30T09:24:57Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Коченов, Е. Г. Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров / Е. Г. Коченов, В. Н. Шебеко // 60-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» : материалы конференции, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Р. Стемпицкий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 62–66. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56753 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены основные электрофизические характеристики и низкотемпературные методы осаждения тонких пленок диоксида ванадия для создания активных электронных элементов с фазовым переходом металл-изолятор. Разработаны
процессы электрохимического осаждения пленок оксида ванадия на подложках кремний-диоксид титана. Установлено ориентирующее влияние подложки на процесс кристаллизации и температуры отжига на размер зерен полученных пленок. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | электрохимическое осаждение | en_US |
| dc.subject | металл-изоляторы | en_US |
| dc.subject | микроболометры | en_US |
| dc.title | Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | 60-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР (2024)
|
