| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Barkouskaya, K. M. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-07-31T07:51:13Z | - |
| dc.date.available | 2024-07-31T07:51:13Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Barkouskaya, K. M. Formation of microwave discharge / K. M. Barkouskaya // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 663–665. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56774 | - |
| dc.description.abstract | Microwave plasma technology (MPT) is widely used i nsemiconductor processing. Development of constructions of devices that form microwave discharge leads to make processing more effective. | en_US |
| dc.language.iso | en | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | microwave discharge | en_US |
| dc.subject | microwave plasma | en_US |
| dc.subject | plasmatron | en_US |
| dc.title | Formation of microwave discharge | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024)
|
