| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гутенко, Н. Д. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-08-23T12:29:36Z | - |
| dc.date.available | 2024-08-23T12:29:36Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Гутенко, Н. Д. Механические характеристики тонкопленочных покрытий на основе меди = Mechanical characteristics of thin film coatings based on copper / Н. Д. Гутенко // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 251–253. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57025 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния режимов синтеза на механические
характеристики тонкопленочных покрытий на основе меди. Установлено, что покрытия
имели высокую адгезию к кремнию. Коэффициент трения снижался при увеличении
потенциала диафрагмы, давления парциального давления кислорода и температуры
подложки. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | тонкопленочные покрытия | en_US |
| dc.subject | медь | en_US |
| dc.subject | адгезия | en_US |
| dc.title | Механические характеристики тонкопленочных покрытий на основе меди | en_US |
| dc.title.alternative | Mechanical characteristics of thin film coatings based on copper | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | A study was carried out of the influence of synthesis modes on the mechanical
characteristics of copper-based thin-film coatings. It was found that the coatings had high
adhesion to silicon. The friction coefficient decreased with increasing diaphragm potential,
oxygen partial pressure, and substrate temperature. | en_US |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024)
|
