| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Товт, П. Д. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-10-04T11:50:38Z | - |
| dc.date.available | 2024-10-04T11:50:38Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Товт, П. Д. Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Товт Павел Дмитриевич ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2024. – 8 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/57833 | - |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | наноэлектроника | en_US |
| dc.subject | алмазоподобные углеродные покрытия | en_US |
| dc.subject | индуктивно-связанная плазма | en_US |
| dc.title | Формирование алмазоподобных углеродных покрытия оптического назначения с использованием индуктивно-связанной плазмы | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
