| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Буслюк, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Видрицкий, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Емельянов, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Юник, А. Д. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-12-04T06:07:35Z | - |
| dc.date.available | 2024-12-04T06:07:35Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Технологические аспекты производства изделий субмикронной электроники / В. В. Буслюк, А. Г. Видрицкий, Д. А. Голосов [и др.] ; под ред. д-ра техн. В. Л. Ланина. – Минск : Бестпринт, 2024. – 266 с. | en_US |
| dc.identifier.isbn | 978-985-7267-34-7 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58355 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области формирования тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью в субмикронных КМОП интегральных схемах, активных компонентов интегральных схем селективным реактивно-ионным травлением многоуровневой металлизации, омических контактов к субмикронным структурам, ионно-пучкового синтеза функциональных тонкопленочных покрытий, вакуумного монтажа кристаллов и герметизации изделий субмикронной электроники | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | Бестпринт | en_US |
| dc.subject | публикации ученых | en_US |
| dc.subject | субмикронная электроника | en_US |
| dc.subject | производство | en_US |
| dc.subject | технологии | en_US |
| dc.subject | микроэлектроника | en_US |
| dc.title | Технологические аспекты производства изделий субмикронной электроники | en_US |
| dc.type | Book | en_US |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
