Тонкопленочный конденсатор на основе титаната бария, сформированного золь-гель методом на титане

Abstract

На основе многослойной золь-гель пленки титаната бария с использованием титановой подложки изготовлен лабораторный тонкопленочный конденсатор. Приведены результаты измерения емкости и тангенса угла диэлектрических потерь сформированного конденсатора в диапазоне частот 0,2 кГц - 200 кГц. Установлено, что при переходе от низкочастотного диапазона к высокочастотному значение тангенса угла диэлектрических потерь уменьшается на порядок и составляет 0,032-0,039 для диапазона частот от 50 кГц до 200 кГц. Для всего исследуемого диапазона значение емкости конденсатора составляет 560-750 пФ и удельной емкости 41-55 нФ/см2. Для диапазона частот 0,2 кГц - 200 кГц рассчитана диэлектрическая проницаемость титаната бария, изменяющаяся от 136 до 43.