| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | - |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | - |
| dc.contributor.author | Федосенко, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Эм, М. | - |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | - |
| dc.coverage.spatial | Нальчик | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-02-20T07:35:37Z | - |
| dc.date.available | 2025-02-20T07:35:37Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия = Thin-film sensors with a gas-sensitive layer of In2O3–Ga2O3 on a substrate of anodic alumina / Г. Г. Горох, И. А. Таратын, В. С. Федосенко [др.] // Микро- и нанотехнологии в электронике : материалы XIV Международной научно-технической конференции, Нальчик, 3−7 июня 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. М. Кармоков (отв. ред.), О. А. Молоканов. – Нальчик, 2024. – С. 306–311. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59166 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты практических испытаний маломощных тонкопленочных газовых микросенсоров, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Благодаря оригинальной конструкции и наноструктурированным газочувствительным слоям In2O3‒Ga2O3 датчики имели низкое энергопотребление и высокую чувствительность к 10 ppm H2 и 10 ppm CO. Датчики продемонстрировали высокие эксплуатационные характеристики; в частности, энергопотребление при измерениях не превышало 30–40 мВт, максимальная чувствительность по CO достигала 350 %, а по H2 до 140 %, время отклика составляло не более 10–15 с, а время регенерации – не более 20–25 с, высокая воспроизводимость измерений и стабильность работы, дрейф газочувствительных слоев составляет 3–5 % за несколько месяцев. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова | en_US |
| dc.subject | публикации ученых | en_US |
| dc.subject | оксидные полупроводники | en_US |
| dc.subject | наноматериалы | en_US |
| dc.subject | газовые сенсоры | en_US |
| dc.subject | анодный оксид алюминия | en_US |
| dc.title | Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия | en_US |
| dc.title.alternative | Thin-film sensors with a gas-sensitive layer of In2O3–Ga2O3 on a substrate of anodic alumina | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | The results of practical tests of low-power thin-film gas microsensors manufactured on nanoporous anodic alumina substrates are presented. Due to the original design and the nanostructured In2O3–Ga2O3 gas-sensitive layers, the sensors had low power consumption and a high sensitivity to 10 ppm H2 and 10 ppm CO. Sensors demonstrated high performance; in particular, the energy consumption during measurements did not exceed 30–40 mW, the maximum sensitivity for CO reached 350 %, and for H2 up to 140 %, the response time was no more than 10 – 15 sec., and the regeneration time – no longer than 20– 25 sec., high measurement reproducibility and operation stability, the drift of gas-sensitive layers was 3–5 % over several months. | en_US |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
